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甩干机--华林科纳



 

. 应用范围:

l  本機台適用於半導體7”晶圓()以下之旋乾製程.

l  设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100.

l  可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program)

l  具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300
um
以下.

l  高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.

 


 
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